设备信息

该仪器专用于大尺寸晶棒Notch精准自动测量，包含Notch晶向角度、开口角度、开口深度等。以晶棒的柱面为定位基准，避免了晶棒端面与柱面垂直度偏差较大所导致的测量误差。

配有一键操作软件，可实现自动精准定向及作业，避免人力操作误差。