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核心参数
- 抛光垫材质：其他
- 抛光液磨粒种类：其他
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
参考数据
工艺参数
加工材料
去除率
Ra
数据
导电型SIC衬底片
100-120nm/H
0.02nm以下
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安吉昌研磨科技有限公司
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