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核心参数
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
采用感应加热方式，在石英管/不锈钢腔体内以物理气相传输法（PVT）生长高纯SiC晶体。
6 ~ 8英寸 碳化硅长晶炉 （电阻式） | |||
晶体尺寸 | 6 ~ 8英寸 | ||
工艺 | PVT | ||
加热方式 | 电阻式 | ||
基本参数 | 主机尺寸 | W3250 x D5200 x H4950mm | |
整机重量 | 约5T | ||
支持系统 | 电 源 | 容 量 | 180kVA |
电 压 | 380VAC±10% , 3P, 50/60Hz | ||
冷 却 水 | 压 力 | 0.2 ~ 0.5MPa | |
流 量 | ＞200L/min | ||
工艺气体 | 压 力 | ＞0.2MPa | |
压缩空气 | 压 力 | 0.5 ~ 1.0MPa | |
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上海汉虹精密机械有限公司
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