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LC-JY边缘轮廓仪

LC-JY边缘轮廓仪
  • 品牌:
  • 产地:宁波
  • 关注度:22
  • 型号:LC-JY
  • 报价:面议
核心参数
  • 仪器种类:实验室
  • 测定原理:其它
  • 测定范围:0.01~5mg/L
  • 测定准确度:±1%
  • 检出限 :≤0.005mg/L
  • 测定时间:30样品/小时
  • 批处理量:不限
产品介绍

主要技术指标对比

LC-JY边缘轮廓仪

(宁波兰辰光电)

晶圆尺寸

68兼容,812兼容

测量项

EdgeNotchOF、直径、Notch幅宽

Edge形状

SEMI标准TypeATypeBTypeC

支持其它非标形状及非标角度

Notch形状

SEMI标准     支持其它非标形状

厚度

300-1200um

自动对心

角度重复性

0.1°

长度重复性

1um

半径重复性

2um

直径重复性

2um

测量时间

Edge4点、直径475s(含搬运时间)


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