核心参数
- 仪器种类:实验室
- 测定原理:其它
- 测定范围:0.01~5mg/L
- 测定准确度:±1%
- 检出限 :≤0.005mg/L
- 测定时间:30样品/小时
- 批处理量:不限
产品介绍
主要技术指标对比 | LC-JY边缘轮廓仪 (宁波兰辰光电) |
晶圆尺寸 | 6、8兼容,8、12兼容 |
测量项 | Edge、Notch、OF、直径、Notch幅宽 |
Edge形状 | SEMI标准TypeA、TypeB、TypeC 支持其它非标形状及非标角度 |
Notch形状 | SEMI标准 支持其它非标形状 |
厚度 | 300-1200um |
自动对心 | 有 |
角度重复性 | 0.1° |
长度重复性 | 1um |
半径重复性 | 2um |
直径重复性 | 2um |
测量时间 | Edge4点、直径4点75s(含搬运时间) |
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