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核心参数
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
产品应用Product Applications：
♦ 适用领域：集成电路、先进封装
♦ 适用材料: Si
♦ 晶圆尺寸：12/8 英寸
♦ 适用工艺：氧化(Oxidation)、退火(Annealing)、固化(Polyimide)、 合金(Alloy)、扩散(Diffusion)
技术指标 Technical Parameters：
♦ 制程温度范围：300°C-1250°C
♦批次片数: 100-250片
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山东力冠微电子装备有限公司
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