核心参数
- 仪器种类:实验室
- 测定原理:其它
- 测定范围:0.01~5mg/L
- 测定准确度:±1%
- 检出限 :≤0.005mg/L
- 测定时间:30样品/小时
- 批处理量:不限
产品介绍
安储科技开发的电子特气负压存储钢瓶内装多孔材料,具有高比表面积,对磷烷(PH3)和砷烷(AsH3)三氟化硼(BF3),四氟化锗(GeF4)等电子特气有着很高的吸附能力,储存稳定安全,不会影响气体纯度,释放量高。可以用在半导体离子注入等设备工艺。
张家港安储科技有限公司
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