核心参数
- 仪器种类:实验室
- 测定原理:其它
- 测定范围:0.01~5mg/L
- 测定准确度:±1%
- 检出限 :≤0.005mg/L
- 测定时间:30样品/小时
- 批处理量:不限
产品介绍
半导体芯片,LCD, LED, 平板显示中用于形成特定图案的光阻剂必须完全清除干净同时对其他接触材料没有损伤。以有机溶剂为主的剥离液在半导体中长期使用。对其他接触材料基本没有损伤, 但对于较厚的光阻清除效果不是很理想。由于半导体技术和光阻材料的发展,目前商用的配方型含有机溶剂的剥离液的清除效果有待提高并且价格较高。安储科技高效低成本的配方型光阻剥离液能够有效的清除各种光刻胶,同时不蚀刻或者侵蚀其他暴露的材料,不仅仅用于先进半导体芯片中而且也用于LCD, LED, 平板显示制程中。
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