半导体级测温仪
型号:半导体级测温仪
EXACTUS®光学高温计主要设计用于OEM晶圆温度测量应用,在非接触式温度测量方面具有显著的性能优势。许多正在申请的**涵盖了这些突破,这些突破在准确性、可重复性和稳定性方面具有行业**的性能。我们的性能优势使我们能够成功地测量许多应用中的过程EXACTUS®提供:使用短波长进行低温测量(25°C或更高)使用200nm红外辐射测量低至900°C的单晶硅精度高,分辨率高达0.001°C,精度高达1.5°C速度高达每秒1,000个读数在任何给定波长下具有宽动态范围测温重复性0.1ºC,温漂不高于0.1ºC精密度高,分辨率达0.01ºC,测温精度1.5ºC