核心参数
- 仪器种类:实验室
- 测定原理:其它
- 测定范围:0.01~5mg/L
- 测定准确度:±1%
- 检出限 :≤0.005mg/L
- 测定时间:30样品/小时
- 批处理量:不限
产品介绍
抛光机
300mm晶圆全自动最终抛光机,专为极高的边缘轮廓和均匀去除率设计
特点
畅销款300毫米最终抛光机。
实现原子级超镜面和高亮度表面。
抛光台有3个平台,第1、2、3平台可同时抛光6片品圆
最适合需要大量抛光去除的晶圆和TSV晶圆的解决方案。
规格
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