核心参数
- 仪器种类:实验室
- 测定原理:其它
- 测定范围:0.01~5mg/L
- 测定准确度:±1%
- 检出限 :≤0.005mg/L
- 测定时间:30样品/小时
- 批处理量:不限
产品介绍
该产品用于硅片制造工序的开方、倒角、磨面、抛光环节,硅棒一次装夹,在工位流转中通过高精密转台精确定位,完成所有加工环节,可实现单边0.2mm的开方边距尺寸,最大限度的降低加工过程中的硅料损耗;节省开方机到磨抛一体机的中转环节,减少自动化投资及占地面积。
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