核心参数
- 仪器种类:实验室
- 测定原理:其它
- 测定范围:0.01~5mg/L
- 测定准确度:±1%
- 检出限 :≤0.005mg/L
- 测定时间:30样品/小时
- 批处理量:不限
产品介绍
超高纯气体输送设备是集成电路、平板显示、发光二极管以及光伏、光纤等泛半导体行业中关键的厂务设备之一。
正帆科技在高纯气体供应系统领域深耕多年,在泛半导体产业的刻蚀、扩散、离子注入、薄膜沉积和黄光工艺等关键制程为客户提供完整的气体供应设备设计与制造的解决方案。正帆科技制造的气体设备均经过SEMI S2认证。
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