FTB300FP全自动 CMP 设备是捷芯与日本技术团队共同开发的CMP设备。 该设备致力于高产能高性价比，并改进了技术要求提高的平面度（GBIR、SFQR）。

特点：

高产能：共有 8 个抛光头和 3 个工作台。

工艺搭配灵活：用于运输的机械手卸载机可与清洗机结合，进行干燥处理。

综合成本低：耗材更换方便，使用周期长，减少停机时间。