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核心参数
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
FTB150MP是根据实验室客户需求开发的实验用6英寸CMP设备。该设备适用于多种材料，配备性能优越的抛光单元，可实现晶圆表面的超高平整度，性价比高、是满足高精度制程的实验室解决方案。
特点：
体积小：单头单盘高度集成化结构
工艺搭配灵活：高刚性结构可施加更高的压力，同时可搭配金刚石、尼龙毛刷等各种修整器。
高性价比：高性价比的实验室解决方案
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无锡松瓷机电有限公司
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