核心参数
- 仪器种类:实验室
- 测定原理:其它
- 测定范围:0.01~5mg/L
- 测定准确度:±1%
- 检出限 :≤0.005mg/L
- 测定时间:30样品/小时
- 批处理量:不限
产品介绍
LAC200是一款经济型8寸晶圆清洗设备,采用水气二流体系统产生高压喷雾,喷雾冲击产品表面和切割道,用于晶圆切割后的高效清洗。
特点:
高能效:占地空间小,能效高,静音性好
高适用性:满足3~8英寸晶圆,最大可以对应250*250方盘
操作便捷:快速设定多种清洗模式,操作简单
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