核心参数
- 仪器种类:实验室
- 测定原理:其它
- 测定范围:0.01~5mg/L
- 测定准确度:±1%
- 检出限 :≤0.005mg/L
- 测定时间:30样品/小时
- 批处理量:不限
产品介绍
减薄砂轮目前在电子行业的LED芯片、集成电路硅片等领域有广泛应用,主要应用于半导体晶圆的减薄与研磨加工。加工对象包括:分立器件,集成电路衬底硅片、蓝宝石外延片,硅晶圆,砷化镓,GaN晶片,硅基芯片等。
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