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核心参数
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
一、产品简介：
通过自主研发的碳化硅原料提纯工艺，可在气氛中对碳化硅进行升华、冷凝、提纯，能有效降低原料粉末中的杂质，通过工艺条件的调整，将3N的原料提纯至5N、6N不同级别的碳化硅粉料产品。
二、产品参数：
规格：3N（99.9%）、5N（99.999%）、6N（99.9999%）
粒径：100um、300um、600um、1000um
哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司
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