技术特点 Features  

· 将真空蒸镀、反应式等离子镀膜、磁控溅射三大镀膜模块整合成一体，三种镀膜技术可同时独立运行，实验开机率媲美三台设备，产能高。

· 实现蒸镀、RPD、PVD 真空连镀工艺，提供多种组合镀膜，落实叠层钙钛矿层工艺一步到位，有利于膜层界面优化、减少装卸、传输损伤，有利于量产设备的提效降本。

· 采用与量产工艺统一的移动镀膜模式，提高未来扩产成功率、减少大尺寸量产风险。

· 自主程序设计、人性化操作界面；多层级权限设定，信息保密；严谨完善的安全设计，防呆功能周密；绿色环保、节能设计 。