技术特点  Features   

· 产能：600 片/ 批， 14400 片/ 小时（210 硅片）；720 片/ 批， 17280 片/ 小时（182 硅片）。

· 兼容背面刻蚀抛光及单晶背面制绒工艺。

· 支持多种添加剂技术。

· 支持最薄120μm 硅片。

· 洁净区域干燥，自洁净系统。

· 快速换液，在线换液。

· 支持MES、RFID 及选配在线称重功能。