主要特点：

▏多轴联动环切技术，保证环切精度。
▏定制化工作台设计，保证TAIKO工艺下晶圆特殊结构稳定加工。
▏四工位，多片协调加工，加工效率高。
▏全自动上下料、传输定位、清洗 、解胶、取环，实现全自动运行模式，大大降低OP工作量。
▏稳定的TAIKO外环解胶和取环。
▏兼容性好，与市面上的其他类型设备，关键耗材兼容性高。
▏便捷的操作和人机交互界面。

先进功能：

☑ 掉环检测功能；
☑工作台自动清洗功能；
☑智能UV解胶系统；
☑ 操作日志记录功能；
☑二流体清洗功能；
☑真空预警与真空管路去水功能；
☑搬运撞击检测功能；
☑ 条形二维码识别功能；
☑ *工厂自动化模块；
☑ *软件定制。