核心参数
- 仪器种类:实验室
- 测定原理:其它
- 测定范围:0.01~5mg/L
- 测定准确度:±1%
- 检出限 :≤0.005mg/L
- 测定时间:30样品/小时
- 批处理量:不限
产品介绍
技术指标:
最大工作物尺寸 | mm | ø12" | |
主轴 | 配置方式 | 单轴 | |
转速 | Rpm | 3,000-60,000 | |
输出功率 | kW | 1.8(2.4可选) at 30,000min-1 | |
最大刀片径 | mm | Ø58 | |
X轴 | 可切割范围 | mm | 310 |
Y轴 | 可切割范围 | mm | 310 |
单步步进量 | mm | 0.0001 | |
定位精度 | mm | 0.003以内/310 0.002以内/5(单一误差) | |
Z轴 | 移动量分辨率 | mm | 0.00005 |
重复精度 | mm | 0.001 | |
θ 轴 | 最大旋转角度 | deg | 380 |
主轴形式 | 单主轴,安装硬刀盘做环形切割 | ||
环切精度 | μm | ±50 | |
晶圆定位精度 | μm | ±50 | |
单片效率 | min/片 | 8 | |
多片效率 | 最多4片同时加工 | ||
设备重量 | Kg | ≈3,200 | |
设备尺寸/ W*D*H | mm | 2,730*1,550*2,070 | |
使用条件:
• 请使用大气压露点在-15 ℃以下残余油分为0.1 ppm,过滤度在0.01 μm/99.5 %以上的清洁压缩空气。
• 请将放置机械设备的房间室温设定在20 ℃〜25 ℃之间,并将波动范围控制在±1 ℃以内。
• 请将切削水的水温控制为室温+2 ℃(变化波动范围在±1 ℃以内),将冷却水的水温控制为与室温相同(变化波动范围在±1 ℃以内)。
• 其他,请避免设备受到撞击及外界的有感振动。另外,请不要将设备安装在鼓风机、通风口、产生高温的装置及产生油雾的装置附近。
• 本设备会使用水。万一发生漏水影响,请把本设备安装在有防水性之地板及有排水处理之场所。
• (*)为非标准配置。
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