核心参数
- 仪器种类:实验室
- 测定原理:其它
- 测定范围:0.01~5mg/L
- 测定准确度:±1%
- 检出限 :≤0.005mg/L
- 测定时间:30样品/小时
- 批处理量:不限
产品介绍
详情
最大工作物尺寸 | mm | ø8"~ø12" |
主轴 | 双主轴 | |
主轴转速 | Rpm | 1,000-6,000 |
真空吸台转速 | Rpm | 0-300 |
Z轴最小位移量 | μm | 0.1 |
最大磨削厚度 | mm | 1 |
晶片磨削厚度 | μm | ≥100 |
厚度变化量 | μm | ≤2 |
不同片之间厚度变化量 | μm | ≤±3 |
精加工面粗糙度 | Ra≤30nm(2000#) (该参数主要取决于磨轮) | |
磨削方式 | 全自动主轴进给式磨削 | |
测高范围 | mm | 0 - 0.8 |
晶盒配置 | 2 | |
设备重量 | kg | ≈4,200 |
设备尺寸/ W*D*H | mm | 1,200*2,800*1,900 |
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