SiC晶圆质量成像检测系统特点：

晶圆衬底质量（载流子寿命）高速成像

快速筛查外延片晶格质量

高时空分辨率

多激发波长可切换

SiC晶圆质量成像检测系统全自动送样测试

大连创锐光谱科技有限公司基于自主创新的时间分辨光谱技术，致力于推动光谱技术在科研和工业领域的深入应用。在科研仪器领域，创锐光谱由一线专家带队，是目前国内极少具备瞬态光谱独立研发-生产-应用完整能力体系的团队。