核心参数
- 仪器种类:实验室
- 测定原理:其它
- 测定范围:0.01~5mg/L
- 测定准确度:±1%
- 检出限 :≤0.005mg/L
- 测定时间:30样品/小时
- 批处理量:不限
产品介绍
晶盛机电研发出12英寸硅片最终抛光设备,并实现国产化配套应用,实现进口设备替代,设备自动化程度、稳定性高,加工产品平坦度好
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