技术特点
　　●磨轮直径 Φ300mm，最高减薄速率 0.9μm/s, 单片磨削时间＜ 5 分钟。选择高功率高扭矩主轴，可实现高效率、高精度、无损伤镜面加工；
　　●双主轴三工位全自动减薄机，配有在线测量仪单元（测量范围 0-1800μm），精确控制减薄厚度；具备 SECS/GEM 联网功能。配置 SMIF（选配），保持高清洁度的同时稳定减薄。