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核心参数
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
Si外延石墨载盘是半导体硅外延工艺的核心承载部件，通常以高纯度石墨为基体，表面制备致密 CVD SiC 涂层，具备优异的热稳定性、化学惰性与洁净度，可保障外延层均匀生长与晶圆良率。
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河南锐瓷科技有限公司
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