在石墨外延部件表面沉积SiC涂层，主要解决高温腐蚀与污染（如传统石墨在含氧环境中易氧化粉化），在蚀刻工艺中，SiC涂层抵御Cl2、CF4等腐蚀性气体，保护腔体结构。降低颗粒脱落风险，使零部件寿命提升3-5倍，减少设备维护成本呢。涂层阻隔石墨基体释放杂质（如金属离子、碳颗粒），防止污染外延层，保障SiC外延片缺陷密度＜1/cm2（如三角缺陷、位错。