外延石墨载盘适配LED行业CVD设备，主要用于晶圆沉积过程中的衬底承载。沉积制程受气体流向（水平/垂直）、温度、压力、衬底固定精度及污染物脱落等多因素制约，需采用专用石墨基座保障制程稳定性。石墨基座表面复合的CVD-SiC涂层与石墨基材热膨胀系数匹配度高，具备优良的抗酸碱腐蚀性能，可有效阻挡石墨脱粉与腐蚀损伤，延长基座服役周期。