核心参数
- 仪器种类:实验室
- 测定原理:其它
- 测定范围:0.01~5mg/L
- 测定准确度:±1%
- 检出限 :≤0.005mg/L
- 测定时间:30样品/小时
- 批处理量:不限
产品介绍
一类是真空吸附固定夹具,另外一类的固定方式是采用夹持锁定的方式,
这两类夹具都具有很高的研磨抛光加工精度,
直径50毫米的晶圆磨抛精度可以达到1-2微米,
表面粗糙度可以在5纳米以下
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