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- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
介绍：化学式(α-Al2O3)，为六方晶格结构。化学性质非常稳定，不溶于水，耐强酸、强碱的腐蚀。莫氏硬度9级，熔点为2050℃，沸点3500℃，最高工作温度可达1900℃。透光性好，热传导性和电气绝缘性，力学机械性能表现优秀，具有耐磨和抗划伤的特点。
应用：高质量氮化镓外延生长（减少缺陷，提高晶体质量）、高频电子器件（改善电学性能）
产品规格书
蓝宝石偏角度单晶衬底（2~6英寸） | |||
材料成分 | >99.99%，High Purity， Mono-crystalline Al2O3 (KY) | ||
晶向类型C-M | C-axis (0001) off-cut 0.5°~10° ± 0.1° toward M (1-100) | ||
晶向类型C-A | C-axis (0001) off-cut 0.5°~8° ± 0.1° toward A (11-20) | ||
晶向类型A-M | A-axis (11-20) off-cut 0.5°~6° ± 0.1° toward M (1-100) | ||
晶向类型A-C | A-axis (11-20) off-cut 0.5°~6° ± 0.1° toward C (0001) | ||
晶向类型R-M | R-axis (1-102) off-cut 0.5°~6° ± 0.1° toward M (1-100) | ||
晶向类型R-C | R-axis (1-102) off-cut 0.5°~6° ± 0.1° toward C (0001) | ||
晶向类型M-C | M-axis (1-100) off-cut 0.5°~6° ± 0.1° toward C (0001) | ||
直径 | 50.8mm | 100mm | 150mm |
厚度 | 430um | 650um | 1000um |
定位边晶向 | A-plane ± 0.3° | ||
定位边长度 | 16mm | 30mm | 47.5mm |
正面状态 | Epi-polished,Ra<0.3nm | ||
反面状态 | SSP:Fine-ground,Ra=0.8-1.2um; DSP:Epi-polished,Ra<0.3nm | ||
总厚度偏差TTV | <10 um | <20 um | <25 um |
弯曲度BOW | -15～0 um | -25～0 um | -35～0 um |
翘曲度WARP | <15 um | <30 um | <40 um |
边缘去除 | ≤2 mm | ||
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