该设备为全球首台“20振镜头1200mm×2400mm钙钛矿高速激光刻蚀成套设备”，由元禄光电和华中科技大学共同研发，不仅在国内国际首开先河，更以行业领航者的姿态，引领技术潮流。作为国内外首发的创新之作，此套设备是目前市场上极少数能够生产超大尺寸1200*2400mm组件的钙钛矿太阳能电池激光刻蚀设备。

高效率：单设备20路光束，加工时间30s，实现更高产能；

高精度：采用高精度相机及软件算法实现高精度划线的精准控制，整体精度10um；

高可靠：采用独特的机械设计理念，平台动，膜面划，实现设备高稳定性；

设备特点

① 20个振镜头同时加工；20套激光部分光程一致，光束质量好；单路激光可调，确保光路稳定性；振镜加工，子电池宽度任意可调；振镜聚焦加工，焦深更大，工艺窗口更大

② 整片产品真空吸附，确保产品平面度；平台单方向动一次，避免产品来回跑动导致错位；直线电机配合高精度光栅尺，对比气浮平台，环境适应性更好，稳定性更高；平台运动速度配合振镜扫描速度，加工时间更短，速度更快。

③ 功率计定期自检功率；3套旁轴视觉同时进行振镜校正；3套定位相机进行MARK点检测；产品归正，划线直线度修正，确保最小死区面积；20振镜头拼接精度<10um，死区<250um