即时检测WAFER基板于研磨制程中的膜厚、玻璃基板(强酸环境中)于减薄制程中的厚度变化产品特色●非接触式、非破坏性光学式膜厚检测●采用分光干涉法实现高度检测再现性●可进行高速的即时研磨检测●可穿越保护膜、观景窗等中间层的检测●可对应长工作距离、且容易安裝于产线或者设备中●体积小、省空間、设备安装简易●可对应线上检测的外部信号触发需求●采用最适合膜厚检测的独自解析演算法。●可自动进行膜厚分布制图(选配项目)

面议 查看详情

智能膜厚测量仪具备以下特点：●可随身携带至生产现场的手持式设计●操作简便，新人也能轻松上手●虽为手持设备却可实现高精度测量●支持对三维样品进行无损检测

面议 查看详情

OPTM是一款基于显微分光技术、通过微区绝对反射率测量来实现高精度膜厚与光学常数精准解析的设备。它可对各种薄膜、晶圆、光学材料等的涂层与多层膜结构进行无损、非接触式测量，单点测量仅需1秒，速度卓越。设备内置的软件系统直观易用，即便是初学者也能轻松完成光学常数分析。产品特色●非接触、非破坏式，量测头可自由集成在客户系统内●初学者也能轻松解析建模的初学者解析模式●高精度、高再现性量测紫外到近红外波段内的绝对反射率，可分析多层薄膜厚度、光学常数（n：折射率、k：消光系数）●单点对焦加量测在1秒内完成●显微分光下广范围的光学系统（紫外~近红外）●独立测试头对应各种inline定制化需求

面议 查看详情