OPTM是一款基于显微分光技术、通过微区绝对反射率测量来实现高精度膜厚与光学常数精准解析的设备。它可对各种薄膜、晶圆、光学材料等的涂层与多层膜结构进行无损、非接触式测量，单点测量仅需1秒，速度卓越。设备内置的软件系统直观易用，即便是初学者也能轻松完成光学常数分析。

产品特色

● 非接触、非破坏式，量测头可自由集成在客户系统内

● 初学者也能轻松解析建模的初学者解析模式

● 高精度、高再现性量测紫外到近红外波段内的绝对反射率，可分析多层薄膜厚度、光学常数（n：折射率、k：消光系数）

● 单点对焦加量测在1秒内完成

● 显微分光下广范围的光学系统（紫外 ~ 近红外）

● 独立测试头对应各种inline定制化需求