核心参数
- 仪器种类:实验室
- 测定原理:其它
- 测定范围:0.01~5mg/L
- 测定准确度:±1%
- 检出限 :≤0.005mg/L
- 测定时间:30样品/小时
- 批处理量:不限
产品介绍
一.产品概述
LEC法是用液态覆盖剂封闭熔体控制挥发组分实现半导体晶体生长的方法。
LEC坩埚主要作为液封直拉法(LEC)技术生长单晶中的生长容器。
北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司
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