中科慧远视觉技术(洛阳)股份有限公司
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中科慧远视觉技术(洛阳)股份有限公司
中科慧远视觉技术(洛阳)有限公司是由中国科学院自动化研究所孵化成立的国家高新技术企业、国家级专精特新小巨人企业。公司面向工业质检中存在的缺陷微弱、精度要求高等挑战,突破工业AI质检在高效、高精度、高适应性检测的关键技术,以仿人光学成像与AI算法平台为核心,独立研发在工业外观领域的视觉检测装备,产品打破国际垄断,实现国产替代,填补行业空白。目前,公司自主研发的系列A0I检测装备在玻璃盖板、显示面板、金属中框、半导体等多行业与龙头客户实现全面合作,在工业视觉检测领域实现从基础研究、关键技术到规模化应用的全链条创新,致力于为用户提供更智能、更完善、更系统、更极致的工业视觉智能检测装备与品质数字化解决
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主推产品

SiC缺陷检测设备
型号:CSU200

CSU200设备是中科慧远对SiC衬底及外延产品开发的缺陷检测设备。该设备通过显微成像系统和光致发光技术,实现对各类SiC晶片表面及晶体缺陷的检测和分类。该设备可适用于SiC衬底的来料检、出货终检,以及SiC外延的过程检和出货终检。

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SiC晶片宏观缺陷检测设备
型号:CSU030

CSUO30设备为中科慧远针对SiC晶片制程过程中外观类缺陷进行宏观检测的缺陷检测设备。该设备运用机器视觉的原理,结合自研的AI算法平台可实现各类缺陷的检测和分类。设备适用于划伤类、崩边、包裹、脏污等人眼可见缺陷的检测,并能够区分正反面的划伤,以定义不同的管控规格。

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SiC缺陷检测设备

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