CSU200设备是中科慧远对SiC衬底及外延产品开发的缺陷检测设备。该设备通过显微成像系统和光致发光技术，实现对各类SiC晶片表面及晶体缺陷的检测和分类。该设备可适用于SiC衬底的来料检、出货终检，以及SiC外延的过程检和出货终检。