​在 SAW 滤波器（声表面波滤波器）真空蒸发镀膜工艺中，蒸镀坩埚（PBN 有机 EL 坩埚和石墨坩埚）是蒸发源中的关键部件。主要用于承载各种蒸镀材料，并在高温真空环境下实现稳定蒸发，使蒸发分子均匀沉积到基板表面，形成 SAW 滤波器所需的功能薄膜。蒸镀坩埚的质量能够直接影响蒸发材料寿命、纯度、蒸镀过