热解石墨是一种新型炭素材料，是高纯碳氢气体在一定的炉压下，在 1800℃～2000℃的石墨基体上经化学气相沉积出的较高结晶取向的热解碳，它具有高密度、高纯度和热、电、磁、力学性能各向异性。

特性

纯度高：表面致密、无气孔，高温下无杂质析出。

耐高温：强度随使用温度升高而提升，2750℃ 时强度达到峰值，3600℃时升华。

抗热震性优异：弹性模量低、热导率高、热膨胀系数小。

化学稳定性优异：耐酸、碱、盐及有机试剂腐蚀。

应用领域解决方案

半导体晶圆载具涂层: 覆盖载具表面，形成致密保护层，避免载具与晶圆直接接触导致的划痕、金属离子或者颗粒污染。

半导体关键设备零部件涂层: 用于 CVD 设备内衬、离子注入机腔体、高温退火炉零部件等表面涂层。

滤波器蒸镀领域: 用于真空蒸发镀膜装置，在高温、高真空下不会放出杂质和气体，不会影响镀膜纯度。

原子吸收测试设备: 原子吸收光谱仪的热解石墨涂层石墨管，比普通石墨管的抗氧化、抗化学试剂腐蚀能力更强。