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核心参数
- 抛光垫材质：其他
- 抛光液磨粒种类：其他
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
抛光片是FZ、CZ或MCZ硅锭经过切割、研磨和抛光等工序形成几乎完美表面的硅片，在平整度和表面质量方面满足最高标准。根据掺杂元素的浓度不同，划分为轻掺抛光片和重掺抛光片。
中环领先半导体科技股份有限公司
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