主要功能：本设备主要采用机械臂搬运方式，通过对硅片腐蚀、漂洗等方式进行处理，从而达到一个用户要求的清洗效果。设备两工位单独控制，相当于两台独立蚀刻机。互不影响。

设备型号：ZG20131230001-01

整机尺寸(参考)：2300mm（L）×1200mm(W)×1850mm(H)；以最终设计尺寸为准。安装尺寸：2400mm（L）×2000mm(W)×2500mm(H)。

被清洗硅片尺寸：4、5寸

菏泽力芯电子出品的沟槽蚀刻设备主要由上下料台、清洗部分、摆臂、旋转机构、抽风系统、冷冻盘管及电控部分组成。

设备主要特点：腐蚀漂洗能力强，性能稳定，安全可靠；设备成本合理，自动化程度高，使用成本低；结合力芯公司全体同仁之力，品质保障，使其各部分远远领先同类产品。