半导体在线讯  伴随元宇宙产业持续发展，AR眼镜应用场景也逐渐拓宽，光波导镜片作为AR眼镜的核心光学器件，重要性愈发凸显。目前综合性能最好的AR光波导是表面浮雕光栅衍射光波导，但传统常用的紫外曝光工艺，在制作表面浮雕光栅结构时存在成本偏高、效率低下的痛点，难以实现规模化量产。而在制作AR眼镜过程中结合纳米压印（NIL）的方式不断复制微纳结构，不仅能够实现光波导元件的大批量生产，更能极大降低光刻加工成本。

微纳光栅结构，图源：苏州光舵微纳

纳米压印技术与传统的印刷技术类似，是一种通过压印来复制模板上图案的方法，其特点是具有极高的分辨率且高效率、低成本。完整的纳米压印制程通常包括模板制作、模板防粘等前期准备工艺，涂胶、压印、脱模等核心压印工艺，以及压印残余去除和图形刻蚀转移等后续工艺。

NIL技术工艺流程图

纳米压印工艺分为热压印（T-NIL）和紫外压印（UV-NIL）。在AR眼镜表面浮雕光栅波导的制造中，主流采用紫外压印工艺。

随着产业链不断成熟，不同技术路线的纳米压印工艺持续迭代，各类专用设备与配套制程日趋完善，也催生出一批纳米压印装备及工艺服务商，为光波导元件低成本、大批量落地提供坚实支撑。

佳能（Canon）

佳能作为全球领先的综合影像与精密制造企业，于2014年收购了德克萨斯州的Molecular Imprints公司，进入了纳米压印业务。完成收购后，将自身镜头技术与Molecular Imprints的曝光技术相结合，并与日本存储芯片制造商铠侠（Koxia）达成合作，近十年来共同研发纳米压印技术。2023年10月，佳能正式推出能够制造尖端芯片的纳米压印设备FPA-1200NZ2C。

FPA-1200NZ2C纳米压印设备，图源：佳能

Morphotonics（魔飞光电）

魔飞光电是全球大面积纳米压印技术的领导者，为新一代AI设备及系统量产落地提供制造设备。公司的高精度、可扩展纳米压印平台，能够在大尺寸基板上实现微纳结构的高性价比制造，为AI应用及内容的爆发式增长提供领先解决方案，包括搭载AIGC功能的先进屏幕，以及作为下一代AI硬件代表的AI智能眼镜。魔飞光电推出的大面积卷对板（R2P）纳米压印技术，成功构建了一个融合晶圆级半导体工艺质量与卷对卷（R2R）级量产效率的新型制造平台，在“质量”与“规模”之间找到了平衡点。

Cypris X700 Platform，图源：Morphotonics

魔飞光电总部位于荷兰，2025年8月宣布在中国成立分公司——魔飞光电（苏州）有限公司，将进一步巩固其大面积纳米压印技术在先进显示、AR/VR等前沿领域的影响力。

EV Group（EVG）

EVG是纳米压印光刻市场领先的设备供应商，公司长期布局并深耕纳米压印光刻核心技术，完成了该技术从实验室研发到多规格基板规模化量产的全流程技术沉淀与落地应用。设备适配基板规格广泛，涵盖2英寸化合物半导体晶圆、300mm标准晶圆，乃至大尺寸面板。

EVG®7300多功能紫外纳米印刻系统，图源：EV Group

苏州苏大维格科技集团股份有限公司

苏大维格在大面积微纳三维光刻、纳米光刻、纳米压印、纳米结构功能化及功能材料数字设计等领域已形成鲜明技术特色与核心优势。公司自主研发并实现了微纳制造领域多项原创基础技术、先进算法与重大工艺装备，打破国外技术垄断，成为微纳制造领域少数具有核心竞争力的创新企业。

FlexAligner-P500，图源：苏大维格

公司自主研发的卷对平套准纳米压印光刻系统FlexAligner-P500近期已完成商用验收，并成功交付消费电子及半导体领域头部企业。该设备专攻衍射光波导及DOE衍射光栅制造，凭借500mm范围内±5%以内的压印均匀性、0~20nm的残留层控制等硬核参数，实现大面积、高保真、高效率生产，可匹配新型显示、生物检测、半导体精密制造等领域需求，为国产高端装备替代注入强劲动能。

璞璘科技（杭州）有限公司

璞璘科技是一家专业从事纳米压印设备以及纳米压印材料研发、制造与销售的高端微纳制造商。主要产品包括：桌面式科研型纳米压印系统、全自动量产式纳米压印系统、高精度步进式纳米压印系统、分子级表面处理系统、超高温超高压纳米压印系统；热固化纳米压印胶、紫外固化纳米压印胶、1.1~2.0折射率光学材料、分子级防粘试剂、增粘试剂等。

纳米压印设备和纳米压印胶，图源：璞璘科技

青岛天仁微纳科技有限责任公司

青岛天仁微纳成立于2015年，是专业的纳米压印光刻设备和解决方案提供商，产品与服务涵盖纳米压印光刻相关的设备、模具、材料、工艺以及生产咨询服务。天仁微纳致力于拓展纳米压印光刻技术在创新产品领域的应用，例如发光二极管（LEDs）、微纳机电系统（MEMs/NEMs）、虚拟现实和增强现实光波导、3D传感、生物芯片、显示以及太阳能等。

200/300mm全自动纳米压印光刻生产线，图源：天仁微纳

苏州光舵微纳科技股份有限公司

光舵微纳是国内纳米压印技术产业化应用的领先企业，可以提供纳米压印设备、材料、工艺方案及技术支持一整套解决方案。自2016年推出国内首台全自动量产型纳米压印设备以来，在LED-PSS行业拥有接近100%市场占有率。在AR、晶圆级光学、超构透镜、显示领域、生物芯片等各类微纳加工领域，光舵推出多款研发及量产型设备，实现对多家头部厂商的出货。

全自动纳米压印设备，图源：苏州光舵微纳

普雨科技（苏州）有限公司

普雨科技成立于2024年7月，公司位于苏州工业园区，是一家专注于纳米压印光刻设备研发、生产与产业化的高科技企业，致力于为集成电路、泛半导体行业提供优质微纳制造解决方案，是国产高端光刻设备领域的新锐领军力量。

STPSENN纳米压印光刻多功能平台，图源：普雨科技

吉佳蓝(无锡)科技有限公司

吉佳蓝是基于拥有25年以上业绩的韩国半导体设备企业Gigalane的技术实力成立的国产化设备制造企业。公司主打50nm成熟工艺刻蚀，纳米压印设备的研发、制造、销售，半导体设备领域主要产品包括电感耦合等离子体刻蚀机ICP、深硅刻蚀机DRIE、电容耦合等离子体刻蚀机CCP、LED萃盘式刻蚀机、NIL纳米压印系统，应用于IGBT、MOSMET、MEMS、SiC/GaN Power、XR、Micro LED、Lens、WGP、Waveguide等领域。

全自动子模具制造和纳米压印工艺系统CITUS600OFA，图源：MGM吉佳蓝

广东星空科技装备有限公司

星空科技以精密机械、精密光电、精密运动、精密控制，以及复杂软件为核心技术，研制半导体、泛半导体、精密制造、新能源、生物医药等领域的创新装备。主要产品包括光学检测设备、自动键合设备、纳米压印设备、测量与检测设备等高端智能装备。公司iNS系列步进纳米压印设备具备自动对焦、自动对准、自动压印能力，可应用于玻璃母模、扇出压印、微透镜阵列、光波导镜片、MEMS等领域。

iNS系列步进纳米压印设备，图源：星空科技

苏州固益微纳科技有限公司

苏州固益微纳科技有限公司位于苏州高新技术开发区，专注于为微纳光学器件以及其他纳米级微结构应用器件制造提供设备与可靠的晶圆级解决方案。主营产品包括纳米压印系统、真空纳米压印系统、纳米压印拼版系统、自动纳米压印系统、真空UV固化设备、氮气环境UV固化设备以及纳米压印周边材料等。

参考来源：

[1]王梦诚等：纳米压印研究进展及创新应用

[2]企业官微官网、苏州纳米城、中国电子报、粉体网

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