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核心参数
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
应用领域：主要用于硅Si、锗片Ge、磷化铟InP、氮化镓GaN、蓝宝石等各种半导体材料减薄。
产品描述
| 参数项目 | 技术指标 |
| 设备尺寸 | 2750x1200x2000mm |
| 净重 | 约4.2T |
| 加工范围 | 6",8",10" |
| 主轴数量 | 2 |
| 主轴转速 | 500-5000rpm |
| 进给行程 | 150mm |
| 进给速度 | 0.01-100um/s |
| 载台转速 | 0-300rpm |
| 额定功率 | 30kW |
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南京晶升装备股份有限公司
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