智能启动 适用广泛

适用于6/8英寸导电和高纯半绝缘型SiC晶体生长，创新的结构设计，可提供高纯材料生长能力，拥有高精度的控温、控压能力，工艺性能优良，设备一致性好，具有丰富的量产经验。

产品特点

智能启动

一键智能启动，减少人工干预，利于规模化生产。

适用广泛

适用于6、8英寸，导电/高纯半绝缘型SiC晶体生长。

专业设计

专业的结构设计，提供高纯材料生长能力。

适于长时高温低压

适于长时/高温/低压工艺，拓宽高质量/大规模晶体生长窗口。

多辅助设备支持

包含多款辅助设备，大产能原料合成炉、晶锭退火炉及其他。

温场均匀

通过实验不断优化热场结构设计，使得温度梯度更加均匀，减少传统热场局部高温、碳化等问题。

低功耗

整体式线圈设计降低噪音，降低功耗。

技术参数