核心参数
- 仪器种类:实验室
- 测定原理:其它
- 测定范围:0.01~5mg/L
- 测定准确度:±1%
- 检出限 :≤0.005mg/L
- 测定时间:30样品/小时
- 批处理量:不限
产品介绍
AP5XP 是昂坤AKO全新自主设计研发的颗粒缺陷检测设备,性能对标 SP5XP,专为300mm硅晶圆量测而设计,可检测最小颗粒17 nm。
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