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核心参数
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
温场扫描系统Scanpyro，用于具有狭缝型观察窗的MOCVD腔体上，扫描整个石墨盘及上面晶圆的温场分布
配置自动平移台，监测过程中，自动扫描整个盘面
数据可用来分析温度分布情况，为调整腔体加热提供可靠的依据，提高温度一致性
图像化显示界面，易于使用
可根据用户腔体定制
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昂坤视觉（北京）科技有限公司
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