核心参数
- 仪器种类:实验室
- 测定原理:其它
- 测定范围:0.01~5mg/L
- 测定准确度:±1%
- 检出限 :≤0.005mg/L
- 测定时间:30样品/小时
- 批处理量:不限
产品介绍
晶圆表面温度测量仪T405,近紫外 405nm 测温仪,可以直接测量 wafer 或薄膜表面温度,不受翘曲和其他因素的影响,从而满足更高要求的 MOCVD 工艺监测需要
测温波长405nm
测温范围650-1300度
可和昂坤RTC设备协同使用,实现发射率修正的405nm温度监测
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