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核心参数
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
专为 SiC 衬底片 / 外延片打造的缺陷检测设备，集成多通道检测与 AI 算法，最小缺陷精度 60nm，产能达同类设备 1.5 倍，覆盖衬底、外延、位错等多类缺陷
集成 DIC 明场、激光散射暗场及双激光 PL 多通道检测
实现对 SiC 晶圆多类型缺陷的全面检测
AI 自动分类算法减少人工干预，缺陷识别精准度高
兼顾高检测精度（60nm）与高产能，适配 SiC 半导体量产场景
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昂坤视觉（北京）科技有限公司
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