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核心参数
- 仪器种类：实验室
- 测定原理：其它
- 测定范围：0.01~5mg/L
- 测定准确度：±1%
- 检出限 ：≤0.005mg/L
- 测定时间：30样品/小时
- 批处理量：不限
产品介绍
适用于 InP、GaAs、LT、LN、玻璃、蓝宝石等多种晶圆的缺陷检测。系统集成 DIC 明场、激光散射暗场检测，并结合 AI 自动缺陷识别与分类算法，可对 Pit、Bump、Particle、Scratch 等常见缺陷实现快速、精准的识别与分类，最小可检测缺陷尺寸达 60 nm
适配多材质晶圆
最小检测精度达 60nm
高效品质检测
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昂坤视觉（北京）科技有限公司
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