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更多摘要:采用碳化钽TaC涂层能够解决晶体边缘缺陷问题,提高晶体生长质量,是“长快、长厚、长大”的核心技术方向之一一、碳化钽涂层特点TaC陶瓷熔点高达3880℃,具有高硬度(莫氏硬度9~10 )、较大的导热系数(22W·m-1·K−1)、较大的抗弯强度(340~400MPa),以及较小的热膨胀系数(6.6×10−6K−1),并展现出优良的热化学稳定性和优异的物理性能,与石墨及C/C复合材料具有良好的化
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