核心参数
- 切割速率:W250mm/s
- 主轴转速:6000-60000
- 控制精度:±0.003mm
- 仪器种类:实验室
- 测定原理:其它
- 测定范围:0.01~5mg/L
- 测定准确度:±1%
- 检出限 :≤0.005mg/L
- 测定时间:30样品/小时
- 批处理量:不限
产品介绍
JHQ-410系列激光划片机,配置进口激光器,加工效率高,质量稳定, 设备简单易操作;提供传统矩形GPP晶圆的全切割/半切割划片方式, 可升级提供六边形划切(三角形切割方式)。
全系列产品分为四款设备:
JHQ-41 0. JHQ-410Z两款设备支持划切产品为正面沟槽去除玻璃后的 GPP产品或晶圆背面制作标记图形的产品。正面对准正面划切,不支持 底部对准功能。
JHQ-41 0D和JHQ-41 0DZ两款设备拥有独特的双光路系统,为单面光 刻晶圆提供了背面划切方案与背面打标方案。正面对准正面/背面划切, 支持底部对准功能。
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